Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники

Гаврилов С. А.

в наличии

Цена со скидкой 20% в интернет-магазине: 639,20 руб.

ISBN: 978-5-369-01299-4
Внешнее покрытие издания: в пер.
Тираж издания: 700
Фамилия автора в заголовке: Гаврилов
Инициалы автора (личного имени (имен)): С. А.
Код отношений (роль соавтора в издании): 070 Автор
Основное заглавие: Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники
Сведения, относящиеся к заглавию: учебное пособие
Первые сведения об ответственности: С. А. Гаврилов, А. Н. Белов
Сведения об издании: 2-е изд.
Место издания: Москва
Издатель: РИОР : ИНФРА-М
Дата издания: 2017
Объем издания (количество страниц): 239
Высота, см.: 22
Определитель УДК: (075.8)
Заглавие серии: Высшее образование: Бакалавриат
Индекс УДК: 544.6:621.3
Статус записи (Тип информации): В наличии
Ширина, см: 14,5
Толщина, см: 1,3
Вес в граммах: 330
Гриф: Рек. УМО вузов РФ
Индекс ББК: 24.57я73
Артикул: 2569487

Описание

Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур, особенности получения и применения пористого кремния, описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС, процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии, процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применение в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Предназначено для студентов, аспирантов, научных работников и инженеров.