Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением

Берлин Е. В.

под заказ

Цена в интернет-магазине: 469,00 руб.

ISBN: 978-5-94836-369-1
Внешнее покрытие издания: в пер.
Тираж издания: 750
Фамилия автора в заголовке: Берлин
Инициалы автора (личного имени (имен)): Е. В.
Код отношений (роль соавтора в издании): 070 Автор
Основное заглавие: Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Первые сведения об ответственности: Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман
Место издания: Москва
Издатель: Техносфера
Дата издания: 2013
Объем издания (количество страниц): 256
Высота, см.: 25
Индекс УДК: 620
Статус записи (Тип информации): В наличии
Ширина, см: 17,5
Толщина, см: 1,2
Вес в граммах: 500
Индекс ББК: 34.65
Артикул: 2576394

Описание

Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава. Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетрон-ного распыления. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.