Введение в технологию проектирования и производства микроэлектромеханических преобразователей с гетероструктурой "кремний на изоляторе" для авиационной и ракетно-космической техники

Соколов Л. В.

под заказ

Цена в интернет-магазине: 329,00 руб.

ISBN: 978-5-4316-0260-3
Внешнее покрытие издания: в обл.
Тираж издания: 100
Фамилия автора в заголовке: Соколов
Инициалы автора (личного имени (имен)): Л. В.
Код отношений (роль соавтора в издании): 070 Автор
Основное заглавие: Введение в технологию проектирования и производства микроэлектромеханических преобразователей с гетероструктурой "кремний на изоляторе" для авиационной и ракетно-космической техники
Сведения, относящиеся к заглавию: Учебное пособие для студентов вузов
Первые сведения об ответственности: Л. В. Соколов
Место издания: Москва
Издатель: МАИ
Дата издания: 2015
Объем издания (количество страниц): 84
Другие уточнения физических характеристик: ил.
Высота, см.: 20
Полная форма имени (имен) и отчества: Леонид Владимирович
Индекс УДК: 681 586/587
Статус записи (Тип информации): В наличии
Ширина, см: 14,5
Толщина, см: 0,4
Вес в граммах: 80
Гриф: Доп. УМО вузов РФ по образованию в обл. авиации, ракетостроения и космоса
Индекс ББК: 35.20
Артикул: 2788301

Описание

Материал, изложенный в учебном пособии обеспечивает закрепление знаний по технологии проектирования и производства радиокомпонентов и приборов на основе кремния, в частности микроэлектромеханических (МЭМС) измерительных тензорезистивных преобразователей на основе гетероструктуры "кремний на изоляторе" (КНИ). Помимо сведений, известных из различных источников научно-технической информации, приводятся оригинальные, полученные автором, результаты. Рассмотрены также некоторые вопросы из физики и кристаллографии полупроводниковых материалов., технологии формирования объёмных (3D) кремниевых резисторов и других кремниевых объёмных структур - то, что необходимо для выполнения расчётов электрических и конструктивных параметров 3D-резисторов с учётом электрофизических и конструктивных свойств кремния. Учебное пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по соотвествующим специальностям, а также для инженеров и аспирантов, участвующих в выполнении научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ по данной тематике.