ISBN: 978-5-7695-4227-5
Внешнее покрытие издания: в пер.
Тираж издания: 2500
Фамилия автора в заголовке: Марголин
Инициалы автора (личного имени (имен)): В. И.
Код отношений (роль соавтора в издании): 070 Автор
Основное заглавие: Физические основы микроэлектроники
Сведения, относящиеся к заглавию: Учебник для вузов
Первые сведения об ответственности: В. И. Марголин, В. А. Жабрев, В. А. Тупик
Место издания: М.
Издатель: Академия
Дата издания: 2008
Объем издания (количество страниц): 399
Высота, см.: 22
Определитель УДК: (075.8)
Полная форма имени (имен) и отчества: Владимир Игоревич
Заглавие серии: Высшее профессиональное образование. Радиоэлектроника
Индекс УДК: 621.3.049.77
Статус записи (Тип информации): В наличии
Ширина, см: 14,6
Толщина, см: 1,6
Вес в граммах: 0
Гриф: Рек. УМО
Артикул: 1771452
Аннотация:

Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии. Для студентов высших учебных заведений.