ISBN: 978-5-7695-4712-6
Внешнее покрытие издания: №7 бц.
Тираж издания: 2000
Фамилия автора в заголовке: Томилин
Инициалы автора (личного имени (имен)): В.И.
Основное заглавие: Физико-химические основы технологии электронных средств
Сведения об издании: 1-е изд.
Место издания: Москва
Издатель: ОИЦ "Академия"
Дата издания: 2009
Объем издания (количество страниц): 416
Высота, см.: 90
Индекс УДК: 541.1(075.8)
Статус записи (Тип информации): В наличии
Ширина, см: 60
Вес в граммах: 0
Индекс ББК: 24.5я73
Артикул: 2008655
Аннотация:

В учебнике изложены современные представления о физико-химических основах технологических процессов электроники, особенности термодинамики химических и фазовых равновесий, кинетические характеристики процессов. Рассмотрены процессы зародышеобразования, роста слоев новой фазы, методы проведения термодинамического анализа. Для студентов учреждений высшего профессионального образования.