ISBN: 978-5-9963-0336-6
Внешнее покрытие издания: в пер.
Тираж издания: 0
Основное заглавие: Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. В 2-х т. Т. 2. Техологические аспекты
Первые сведения об ответственности: М. А. Акуленко и др.
Место издания: М.
Издатель: Бином. Лаборатория знаний
Дата издания: 2014
Объем издания (количество страниц): 252
Высота, см.: 22
Индекс УДК: 621.3
Статус записи (Тип информации): В наличии
Ширина, см: 15
Толщина, см: 1,2
Вес в граммах: 365
Индекс ББК: 32.844.1я73
Артикул: 2132561
Аннотация:

Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и "сухого" травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники.

Читайте также: