Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Киреев В.

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

временно отсутствует

Цена в интернет-магазине: 79,00 руб.

Сообщить о поступлении

Доставка книг по России от 149 руб.*

Аннотация:

Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ),используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС),и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок.

Дополнительные сведения:

Артикул: 1398646
ISBN: 5-94836-039-3
Тип переплета: в пер.
Тираж: 1500
Название: Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Автор: В. Киреев, А. Столяров
Место издания: М.
Издатель: Техносфера
Дата издания: 2006
Количество страниц: 191
Серия: Мир электроники
Высота, см.: 22
Ширина, см: 15,3
Толщина, см: 1,5
Вес в граммах: 380

Книги из серии «Мир электроники»:

Основы силовой электроники

710,00 руб
в наличии

Подробнее В корзину

Печатные платы. Справочник. В 2 кн.

2379,00 руб
под заказ

Подробнее В корзину

Книга «Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы» в наличии в интернет-магазине «БИБЛИО-ГЛОБУС» по низкой цене. У Вас есть возможность оформить заказ на книгу Киреев В. «Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы» с подходящим способом доставки: самовывоз, курьерская доставка или доставка почтой. Доставка заказов в такие города как Москва, Санкт-Петербург, Казань, Екатеринбург, Воронеж, Самара, Нижний Новгород. Интернет-магазин «БИБЛИО-ГЛОБУС» регулярно проводит акции и предоставляет скидки на книги.